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日本HORIBA緊湊型質(zhì)量流量計D700T控制器 日本HORIBA緊湊型質(zhì)量流量計控制器 D700T是專為關(guān)鍵半導體制造工藝設(shè)計的性能最佳的壓力不敏感質(zhì)量流量模塊。D700T采用HORIBACRITERION基于壓力的流量測量和控制技術(shù)，提供業(yè)界的可重復和準確的性能。此外，D700T的之處在于采用雙閥結(jié)構(gòu)的高級流量控制算法，使客戶的氣體輸送系統(tǒng)能夠解決多個挑戰(zhàn)。